pemanasan reaktor mocvd dengan induksi
Pemanasan induksi Reaktor Deposisi Uap Kimia Metalorganik (MOCVD) adalah teknologi yang bertujuan untuk meningkatkan efisiensi pemanasan dan mengurangi kopling magnet berbahaya dengan saluran masuk gas. Reaktor MOCVD dengan pemanas induksi konvensional sering kali memiliki kumparan induksi yang terletak di luar ruangan, yang dapat mengakibatkan pemanasan yang kurang efisien dan potensi gangguan magnetik pada sistem pengiriman gas. Terkini … Baca lebih lanjut